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如何实现单晶硅压力变送器的高稳定性

时间:2022-09-28 14:24:29

导读: 1)准确度等级达到0.05级,并取得计量器具制造许可证,达到了国际先进水平; 2)微差压变送器采用独特的双过载保护膜片专利技术,可达±0.075%的高测量精度,最大的工作静压达到16MPa,最小的测量

1)准确度等级达到0.05级,并取得计量器具制造许可证,达到了国际先进水平; 
2)微差压变送器采用独特的双过载保护膜片专利技术,可达±0.075%的高测量精度,最大的工作静压达到16MPa,最小的测量差压为-50Pa~50Pa,遥遥领先国内外技术水平; 
3)差压变送器最高工作静压可达40MPa,单向过载压力最高可达40MPa; 
4)差压传感器内部可选封装绝压传感器,可用于现场工作静压的测量和显示,也可应用于静压补偿,使得单晶硅压力变送器的静压性能极佳,使得典型规格的静压误差最优为≤±0.05%/10MPa。同时,由于内部绝压传感器的集成,保证了多参数变送器的成功研发,可广泛用于气体流量的测量领域,并填补了国内高端多参数变送器的空白。 
5)压力、差压传感器内部集成的高灵敏度温度传感器,使得变送器温度性能极佳,最优为≤±0.04%/10K;
6)6kPa和40kPa微压力量程表压/绝压变送器可选用独特无传压损耗过载保护膜片专利技术,单向过压最高达7MPa,大幅拓宽了微压力传感器的特殊领域的应用范围; 
7)典型规格的长期零位漂移量≤±0.1%/3年,并通过12万次90%的量程的极限压力疲劳测试,达到了10年免维护的能力; 
8)实现了极宽的测量范围0-100Pa~60MPa,最高100:1的可调节量程比输出; 
9)远传变送器采用先进的超高温专利技术,可应用于400℃超高温测量场合,突破了远传产品应用和测量的瓶颈。 
通过以上多种途径的技术引进、消化和吸收后,再融入自主研发的创新性设计,使得YR-ER100系列高稳定性压力、差压变送器达到了国际先进水平,其准确度等级达到了最高等级的0.05级,其部分性能甚至超越了国外发达国家的变送器水平。最终不仅使企业保证拥有自主核心技术和产权的前提下,还为中国的工业自动化领域的蓬勃发展和安全运行打下扎实的基础,并为中国的工业现代化发展做好了充分的准备。 

通过实践表明可以从超稳型单晶硅原理芯片的选择、超稳型单晶硅硅片的无应力封装、回程误差的消除、静压误差的减弱和补偿、仪表量程比的拓宽、接液面的特殊处理以及超高温测量等诸多技术方面的着手和突破,可以大幅提升高稳定性压力、差压变送器的全性能、准确度等级和可靠性。

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